Pince à wafer PEEK, un outil de préhension manuelle pour l’inspection des wafers. Le PEEK ne contient pas d’éléments halogènes et ne contamine pas les wafers semi-conducteurs.
Dans le domaine mondial de la fabrication de circuits intégrés, la tension des capacités de production est devenue la norme, ce qui a conduit à une croissance significative des investissements de mon pays dans les domaines liés aux circuits intégrés au cours des deux dernières années. Cet essor des investissements a non seulement favorisé le développement vigoureux des industries de fabrication d’équipements pour dispositifs semi-conducteurs, de composants électroniques et de matériaux spéciaux électroniques, mais a également entraîné une forte augmentation de la demande en matériaux hautes performances comme le PEEK.
Le matériau PEEK, grâce à ses excellentes propriétés de résistance aux hautes températures, à l’usure, sa stabilité dimensionnelle, sa résistance à la corrosion chimique et sa facilité d’usinage, a démontré des avantages inégalés dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Particulièrement dans le domaine de la préhension des wafers, les pinces à wafer en PEEK sont devenues un outil idéal indispensable dans la fabrication des semi-conducteurs grâce à leurs propriétés uniques. Elles permettent non seulement d’assurer efficacement l’intégrité du wafer, mais aussi d’améliorer significativement l’efficacité de production et le rendement. Par conséquent, dans l’industrie des semi-conducteurs, les pinces à wafer en PEEK suscitent une attention croissante et sont largement utilisées.
Les avantages principaux des pinces à wafer en PEEK sont les suivants :
Préhension sans contamination
Les pinces à wafer en PEEK sont fabriquées à partir de granulés de PEEK modifié, d’une pureté extrême, contenant quasiment aucun oligo-élément susceptible de contaminer les plaquettes de silicium, garantissant une sécurité absolue pendant le processus de préhension.
Protection antistatique
La pince à wafer en PEEK possède d’excellentes propriétés antistatiques. Sa résistivité de surface peut atteindre 10^5-10^10Ω, et la partie de préhension jusqu’à 10^7-10^8Ω, ce qui prévient efficacement les dommages causés à la plaquette de silicium par une décharge électrostatique instantanée et offre une protection complète au wafer.
Stabilité à haute température
Les pinces à wafer en PEEK peuvent être utilisées longtemps dans un environnement à haute température de 260°C, tout en conservant une haute résistance, une stabilité dimensionnelle et un faible coefficient de dilatation linéaire. Elles présentent une excellente résistance à l’usure par glissement et par frottement, et ne provoquent ni rayures ni résidus sur la surface lors de la préhension des wafers et plaquettes de silicium, assurant ainsi la propreté de surface des wafers et plaquettes de silicium.
Il est à noter que les granulés PEEK5600ESDZ01 que nous avons développés, en tant que matériau antistatique conçu spécifiquement pour résoudre les problèmes d’électricité statique, possèdent une résistivité de surface stable et contrôlable pouvant répondre aux exigences de 10^5-10^9Ω. Ce matériau offre d’excellentes performances en termes de propriétés antistatiques, de facilité d’usinage et d’aspect, et est largement utilisé dans l’industrie électronique, les semi-conducteurs, l’industrie pétrolière et d’autres domaines, réduisant efficacement les pertes causées par l’électricité statique. De plus, ces granulés antistatiques sont également utilisés dans les boîtiers et pièces structurelles de produits antidéflagrants, comme les boîtiers et pièces structurelles de produits électriques dans les mines de charbon, les camions-citernes, les champs pétrolifères et autres environnements, démontrant ainsi de vastes perspectives d’application et un énorme potentiel de marché.
Les pinces à wafer en PEEK couramment utilisées sont moulées par injection à partir de résine pure PEEK5600G et sont disponibles aux dimensions de 4 pouces, 5 pouces, 6 pouces, 8 pouces et 12 pouces.

Les pinces à wafer en PEEK et les pinces à plaquettes de silicium peuvent être utilisées longtemps à une température de 260°C. Elles conservent une haute résistance à haute température, une bonne stabilité dimensionnelle et un faible coefficient de dilatation linéaire. Elles possèdent également d’excellentes propriétés telles que la résistance à l’usure par glissement et par frottement, et un faible coefficient de frottement. Lors de l’utilisation de pinces à wafer en PEEK pour saisir les wafers et plaquettes de silicium, aucune rayure n’est causée à leur surface, et aucun résidu n’est produit par frottement, améliorant ainsi la propreté de surface des wafers et plaquettes de silicium.
Le polymère PEEK est un thermoplastique haute performance dont les excellentes propriétés globales sont spécialement conçues pour répondre aux exigences croissantes de l’industrie électronique.
1. Résistance aux hautes températures : Avec une résistance thermique allant jusqu’à 320°C, il peut conserver sa résistance et sa stabilité dimensionnelle aux températures élevées des procédés de brasage sans plomb. À des températures de 250-280°C, aucune déformation accompagnée de refusion ne se produit dans un délai de 5 à 10 secondes ;
2. Résistance à l’usure : Haute résistance mécanique et résistance à l’usure ;
3. Stabilité dimensionnelle : Les matériaux chargés réduisent le coefficient de dilatation thermique et augmentent la température de déformation sous chaleur, permettant un contrôle dimensionnel strict ;
4. Faible dégazage : Réduit la contamination et améliore la fiabilité des accessoires dans les applications nécessitant une haute pureté (comme les disques durs, les boîtiers de wafers) ;
5. Faible hygroscopicité : Très important pour maintenir la stabilité dimensionnelle et les propriétés d’isolation.
Qu’est-ce que le PEEK ?
Le PEEK et ses matériaux composites modifiés présentent d’excellentes performances dans des conditions de haute température et d’humidité élevée. Le PEEK possède une excellente résistance à la corrosion chimique, des propriétés autolubrifiantes et résistantes à l’usure, ce qui en fait le matériau idéal pour remplacer les alliages de cuivre et le caoutchouc ordinaire. Comparé à eux, le PEEK a une durée de vie plus longue, ce qui peut réduire les coûts d’exploitation des équipements et améliorer leur fiabilité.
Performance à Haute Température
Les performances du PEEK restent stables dans une plage de température de -196°C à 260°C. Dans des conditions de travail extrêmes, il peut supporter 300°C pendant une courte durée. Les performances du PEEK restent fiables même dans des environnements de travail à haute température, comme à plusieurs kilomètres sous terre.
Haute Résistance et Résistance à l’Usure
Comparé à d’autres plastiques, le PEEK résiste à la compression, aux chocs et possède une bonne résistance à la fatigue. Le PEEK est durable dans les équipements mécaniques et les environnements abrasifs.
Double la Durée de Vie
Les solutions d’étanchéité en PEEK peuvent améliorer la durée de vie des pièces. Certaines entreprises chimiques nationales utilisent le matériau modifié PEEK5600FE20 au polytétrafluoroéthylène conçu par Junhua pour remplacer le matériau d’origine, la durée de vie des pièces d’usure peut même être prolongée de 1,3 à 3 fois.
Résistance à la Corrosion
Le PEEK est chimiquement inerte et ne réagit pas avec la plupart des acides, huiles, graisses et tous les autres solvants organiques et inorganiques ou enzymes, tout en conservant une bonne résistance et une stabilité dimensionnelle.
Autolubrifiant
Le PEEK a un faible coefficient de friction et une faible résistance au fonctionnement, ce qui permet de l’utiliser sans huile dans certaines conditions de travail. L’équipement est plus propre, améliorant ainsi la fiabilité du processus, l’efficacité énergétique et permettant des économies de coûts.
Plus de Liberté de Conception
Des moules d’injection peuvent être utilisés pour le moulage par injection rapide de grandes quantités de pièces spéciales complexes, et le coût est faible par rapport à l’usinage.
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Grades courants de PEEK et leurs propriétés
1. PEEK5600G (brun-gris/kaki) est fabriqué à partir de résine de polyétheréthercétone pure et offre la meilleure ténacité et résistance aux chocs de toutes les nuances de PEEK. Le PEEK pur peut être stérilisé par des méthodes courantes (vapeur, chaleur sèche, éthanol et rayons gamma), et les matières premières utilisées dans sa fabrication sont conformes aux réglementations de compatibilité alimentaire de l’UE et de la FDA américaine. Ces caractéristiques le rendent largement utilisé dans les industries médicale, pharmaceutique et agroalimentaire.
2. PEEK5600LF30 (noir) L’ajout de PTFE, de graphite et de fibre de carbone fait du PEEK5600LF30 un plastique de qualité pour paliers. Ses propriétés tribologiques supérieures (faible coefficient de frottement, résistance à l’usure et limite de pression de pointe élevée) en font un matériau idéal pour cette classe d’applications de frottement.
3. PEEK5600GF30 (Brun-Gris) : Ce matériau est une nuance de plastique renforcée avec 30 % de fibres de verre. Il offre une rigidité, une résistance au fluage et une stabilité dimensionnelle supérieures au PEEK, ce qui le rend idéal pour les pièces structurelles. Il peut supporter des charges fixes pendant de longues périodes à haute température. Si le PEEK5600GF30 est utilisé comme composant de glissement, son adéquation doit être soigneusement vérifiée, car la fibre de verre peut rayer les surfaces de contact.
4. PEEK5600CF30 (Noir) : Ce matériau est renforcé avec 30 % de fibres de carbone. Il offre des propriétés mécaniques supérieures (module d’élasticité plus élevé, résistance mécanique et résistance au fluage) et une meilleure résistance à l’usure que le PEEK5600GF30. De plus, le plastique renforcé aux fibres de carbone a une conductivité thermique 3,5 fois supérieure à celle du PEEK non renforcé, dissipant ainsi plus rapidement la chaleur de la surface de palier.
Propriétés mécaniques
| Article | Norme d’essai ou Instrument |
Unité | PEEK5600G 100% PEEK |
PEEK5600GF30 PEEK+30% fibre de verre |
PEEK5600CF30 PEEK+30% fibre de carbone |
PEEK5600LF30 PEEK+30% (fibre de carbone +graphite+PTFE) |
PEEK5600FE20 PEEK+20%PTFE |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Résistance à la traction (23℃) | ISO 527 | MPa | 95 | 175 | 250 | 145 | 70 |
| Module de traction (23℃) | ISO 527 | GPa | 3.8 | 11 | 23 | 12.5 | / |
| Allongement à la rupture (23℃) | ISO 527 | % | 35 | 2.0 | 1.5 | 2.2 | / |
| Résistance à la flexion (23℃) | ISO 178 | MPa | 155 | 235 | 350 | 220 | 118 |
| Module de flexion (23℃) | ISO 178 | GPa | 3.5 | 10 | 21 | 11 | / |
| Résistance au charpy (non entaillé) | ISO 179/1U | kJ/m2 | Pas de rupture | 55 | 45 | 32 | Pas de rupture |
| Résistance au choc poutre en porte-à-faux (entaillé) | ISO 180/A | kJ/m2 | 4 | 6 | 6.5 | 4 | 6 |
Propriétés thermiques
| Article | Norme d’essai ou Instrument |
Unité | PEEK5600G 100% PEEK |
PEEK5600GF30 PEEK+30% fibre de verre |
PEEK5600CF30 PEEK+30% fibre de carbone |
PEEK5600LF30 PEEK+30% (fibre de carbone +graphite+PTFE) |
PEEK5600FE20 PEEK+20%PTFE |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Point de fusion | ISO11357 | ℃ | 343 | 343 | 343 | 343 | 343 |
| Température de transition vitreuse | ISO11357 | ℃ | 143 | 143 | 143 | 143 | 150 |
| Température de déformation sous charge | ISO 75A/B | 1.8MPa. ℃ | 152 | 315 | 315 | 293 | 150 |
| Coefficient de dilatation thermique | ASTM D696 | ppm K-1 | 45 | 22 | 15 | 22 | 70 |
| Conductivité thermique | ISO /CD22007-4 | W/(m·K) | 0.29 | 0.32 | 0.95 | 0.86 | / |
Propriétés électriques
| Article | Norme d’essai ou Instrument |
Unité | PEEK5600G 100% PEEK |
PEEK5600GF30 PEEK+30% fibre de verre |
PEEK5600CF30 PEEK+30% fibre de carbone |
PEEK5600LF30 PEEK+30% (fibre de carbone +graphite+PTFE) |
PEEK5600FE20 PEEK+20%PTFE |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Rigidité diélectrique (2mm) | IEC 60243-1 | kV/mm | 20 | 19 | / | / | 19 |
| Constante diélectrique | IEC 62631 | – | 3.0 | 3.3 | / | / | 2.7 |
| Résistivité superficielle | GB/T31838.3 | Ω | 1015 | 1014 | / | / | 1015 |
| Résistivité volumique | IEC 62631 | Ω·cm | 1015 | 1015 | 105 | 106 | / |
Autres propriétés
| Article | Norme d’essai ou Instrument |
Unité | PEEK5600G 100% PEEK |
PEEK5600GF30 PEEK+30% fibre de verre |
PEEK5600CF30 PEEK+30% fibre de carbone |
PEEK5600LF30 PEEK+fibre de carbone +graphite+PTFE |
PEEK5600FE20 PEEK+20%PTFE |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Couleur | / | / | Naturel | Naturel | Noir | Noir | Naturel |
| Indice de fluidité à chaud (400℃, 2.16kg) | ISO 1133 | g/10min | 6-10 | 2-5 | 1-3 | 2-5 | / |
| Densité | ISO 1183 | g/cm3 | 1.30±0.02 | 1.50±0.02 | 1.40±0.02 | 1.44±0.02 | 1.41±0.02 |
| Absorption d’eau (23℃, 24H) | ISO 62-1 | % | 0.07 | 0.05 | 0.04 | 0.05 | 0.15 |
| Dureté Rockwell | / | HRR | 118 | 119 | 121 | 108 | 113 |
| Classement d’inflammabilité | UL 94 | / | V-0 | V-0 | V-0 | V-0 | / |
| Coefficient de frottement | ASTM D3702 | 100N-120rpm | 0.30-0.38 | 0.38-0.46 | 0.15-0.25 | 0.18-0.30 | 0.1-0.2 |
*Ces données sont fournies à titre indicatif et ne constituent pas une garantie. Pour une fiche technique plus détaillée, veuillez contacter notre service technique.
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