Lors de la fabrication de semi-conducteurs, les composants internes des équipements doivent fonctionner dans des conditions exigeantes impliquant des températures élevées, une exposition à des produits chimiques, des exigences de propreté et un usinage de précision.
Grâce à sa résistance chimique, sa résistance aux hautes températures, ses faibles extractibles et sa stabilité dimensionnelle, le PEEK est devenu un matériau de choix pour de nombreux composants critiques.
01. Bague de retenue CMP
Procédé de polissage mécano-chimique CMP
Les bagues de retenue CMP sont des composants de positionnement critiques utilisés dans le processus de polissage mécano-chimique. Installées au niveau de la station de tête de polissage, elles maintiennent fermement le bord extérieur d’une tranche de 8 pouces afin d’éviter tout déplacement ou envol de la tranche pendant le polissage à grande vitesse, garantissant ainsi la planéité de toute la surface de la tranche.
Le PEEK offre une résistance à l’usure sans générer de microparticules, contribuant ainsi à prévenir les rayures sur la surface photolithographique de la tranche. Sa résistance chimique lui permet également de supporter une immersion prolongée dans la boue de polissage, ce qui en fait un composant de positionnement clé pour garantir le rendement du processus de fabrication des tranches.
02. Guide 12 pouces
À l’intérieur de l’équipement de nettoyage par lots
L’ensemble complet du cadre est installé à l’intérieur du réservoir chimique de l’équipement de nettoyage par lots. La structure ouverte dentée située au centre sert de nacelle de nettoyage pour contenir plusieurs tranches.
Les ouvertures permettent aux produits chimiques de nettoyage de circuler pleinement sur les deux faces des tranches, améliorant ainsi l’uniformité des processus de gravure humide et de rinçage.
Les structures verticales des deux côtés servent de fentes de guidage et de positionnement de 12 pouces, fournissant un guidage de trajectoire lorsque les bras robotisés saisissent et déposent les plaquettes. La base de forme spéciale sur le côté sert de base de montage et de fixation de la chambre, qui est verrouillée sur la chambre du bac de nettoyage via un mécanisme de fixation. Elle résiste à la corrosion chimique et conserve sa forme.
Conseils
Guidage et positionnement de plaquettes de 12 pouces
Utilisés dans les équipements de nettoyage par lots, ces composants assurent le guidage des plaquettes, le positionnement et la fixation structurelle.
03. Composants de boîtier de moteur
Moteurs d’entraînement miniatures intégrés dans les équipements de précision pour semi-conducteurs
Ce boîtier de moteur est usiné avec précision à partir de PEEK5600G vierge et sert principalement de boîtier de protection pour les moteurs d’entraînement miniatures intégrés dans les équipements de précision pour semi-conducteurs.
Fabriqué en PEEK vierge, il combine une excellente isolation électrique et une résistance aux températures élevées. Il peut isoler les interférences électromagnétiques et aider à prévenir les risques de fuite électrique. Il résiste également aux vapeurs chimiques à l’intérieur des équipements, maintient sa stabilité dimensionnelle pendant un fonctionnement à long terme et ne libère pas de substances de faible poids moléculaire susceptibles de contaminer les chambres propres.
Le boîtier assure la protection du moteur, l’isolation et le blindage, l’amortissement des vibrations et l’isolation thermique. Il isole la poussière et l’humidité corrosive, contribuant ainsi à garantir le fonctionnement stable et à long terme des moteurs miniatures dans des conditions propres et exigeantes, tout en répondant aux exigences de transmission de précision de la production en salle blanche pour semi-conducteurs.
04. Broches de levage pour nettoyage de cuve / Effecteurs
Pour la manipulation, le support, le levage et l’alignement des plaquettes
Ces composants sont utilisés sur les postes de manipulation de plaquettes dans les équipements de nettoyage par lots de semi-conducteurs et sont fabriqués en PEEK vierge.
Grâce à sa résistance aux produits chimiques de nettoyage acides et alcalins, à sa faible teneur en extractibles, à sa propreté, à sa résistance aux températures élevées et à son faible coefficient de frottement, le PEEK aide à prévenir les rayures sur les plaquettes, favorise la propreté des plaquettes et convient aux environnements exigeants de nettoyage humide.
Les effecteurs terminaux sont chargés de saisir et de soutenir en douceur les plaquettes lors de leur transfert dans et hors des cuves chimiques. Les broches de levage agissent ensemble pour soulever et positionner les plaquettes, accomplissant les opérations d’alignement et de déchargement des plaquettes.
Ensemble, ces composants permettent un transfert stable des plaquettes, contribuant à éviter les dommages dus aux chocs et la contamination, tout en répondant aux exigences de production de précision des procédés de fabrication des semi-conducteurs.
Pourquoi le PEEK ?
Résistance aux températures élevées
Résiste aux environnements à haute température pendant des périodes prolongées.
Résistance chimique
Résistant aux acides, aux alcalis et à diverses solutions chimiques.
Faible teneur en extractibles
Propre et sans contamination.
Stabilité dimensionnelle
Conserve sa forme sans déformation lors d’une utilisation à long terme.
Dans les équipements de semi-conducteurs, la performance des matériaux
doit en fin de compte être appliquée à chaque composant de précision.
Des matériaux aux applications
Des produits aux opérations réelles
Ces composants PEEK de précision
servent
différents scénarios d’application
dans les équipements de semi-conducteurs.
Si vous êtes également intéressé par
les matériaux PEEK, l’usinage de précision,
et les applications de composants pour équipements de semi-conducteurs,
bienvenue à la conférence annuelle des équipements Wuxi CSEAC.
Nous avons hâte de vous rencontrer et d’échanger des idées avec vous.